Se zaměřením na špičkové{0}}pole, jako jsou polovodiče, integrované obvody a výroba čipů, vyvíjíme vysoce-čisté, vysoce{2}}rovinné a-stabilní destičkové grafitové nosné desky. Jsou speciálně navrženy pro klíčové procesy 2-12palcových waferů včetně depozice, leptání, žíhání a iontové implantace a jsou základními součástmi zajišťujícími přesnost zpracování waferů a výnos.
✅ Extrémně vysoká čistota a nízká nečistota: Vyrobeno z vysoce{0}}čistého jehlového koksu, zpracovaného 3000stupňovou vysokoteplotní- grafitizací, obsah popela menší nebo roven 20 ppm, eliminuje kontaminaci plátků kovovými nečistotami a zajišťuje stabilitu výkonu čipu;
✅ Ultra-Vysoká přesnost rovinnosti: Díky přesnému CNC obrábění a broušení, chyba rovinnosti menší nebo rovna ±0,005 mm, drsnost povrchu Ra menší nebo rovna 0,2 μm, což zaručuje rovnoměrné vedení síly a tepla plátků;
✅ Silná anti{0}}oxidace a odolnost proti korozi: Použití speciální technologie keramického povlaku na povrchu, odolné vůči 1200 stupňům vysoké teploty a plazmové korozi, životnost 4–6krát delší než běžné grafitové desky;
✅ Přizpůsobení na míru: Podpora přizpůsobení různých velikostí plátků (2/4/6/8/12 palců), rozložení otvorů a specifikací tloušťky, kompatibilní s různými polovodičovými zařízeními, jako jsou CVD, PVD a leptací stroje.
V souladu s přísnými standardy polovodičového průmyslu zavádíme rafinovanou kontrolu kvality během celého procesu od čištění surovin, zpracování lisování až po kontrolu hotových výrobků. Poskytujeme spolehlivá a efektivní řešení grafitových nosných desek pro globální polovodičové podniky, což pomáhá zlepšit výtěžnost výroby čipů a efektivitu výroby.
Populární Tagy: grafitový nosič, Čína výrobci grafitových nosičů, dodavatelé, továrna