Polovodičový průmysl má nejpřísnější požadavek na čistotu grafitu ze všech průmyslových odvětví. Během tepelného zpracování destiček způsobí jakékoli vysrážení nečistot kontaminaci destiček, což má za následek masivní odpad třísek. Pro pokročilé polovodičové procesy je obsah grafitového popela obvykle vyžadován pod 5 ppm. Jemnozrnný izostatický grafit je primární surovinou díky jednotné mikrostruktuře, nízkému uvolňování částic a vynikající obrobitelnosti.
Mezi grafitové díly široce používané v polovodičových zařízeních patří grafitové susceptory, grafitové ohřívače, válce s tepelným stíněním, grafitové přípravky nesoucí pláty, grafitové vodicí trubky a grafitové těsnící kroužky. Pracovní podmínky se velmi liší podle typu zařízení. V tažných pecích monokrystalického křemíku čelí grafitové součásti erozi par křemíku; v růstových pecích SiC PVT musí grafit odolat ultra-vysoké teplotě přesahující 2200 stupňů; v epitaxních a difúzních pecích jsou grafitové složky v kontaktu s korozním procesním plynem po dlouhou dobu.
Povrchová úprava se stala standardní konfigurací mnoha polovodičových grafitových součástek. Pyrolytický uhlíkový povlak a povlak SiC vytvářejí na grafitovém povrchu hustou ochrannou vrstvu, která blokuje uvolňování grafitových částic a zabraňuje reakci mezi grafitem a procesním plynem, čímž výrazně prodlužuje životnost komponent. Úprava povlakem zároveň zvyšuje požadavky na přesnost obrábění grafitového substrátu, drsnost povrchu a rozměrovou toleranci.
Trend vývoje velkých-waferů tlačí na modernizaci velikosti grafitových komponent. S tím, jak se 300mm wafery stávají hlavním proudem a 450mm wafer technologie se vyvíjí, jsou monolitické velké grafitové komponenty horké zóny stále více přijímány za účelem snížení montážních mezer a zlepšení rovnoměrnosti teploty. Výroba velkých- bezchybných izostatických grafitových polotovarů a realizace přesného obrábění jsou hlavními technickými výzvami pro výrobce grafitu.
Huixian Jincheng Abrasive & Graphite Mold Factory poskytuje služby přesného obrábění pro polovodičové -grafitové komponenty. Společnost byla založena v roce 1984 a zpracovává hotové grafitové díly na základě importovaných vysoce čistých izostatických grafitových polotovarů. Společnost Jincheng Graphite, vybavená vysokorychlostním-zařízením na CNC zpracování grafitu, realizuje vysoce přesné-obrábění složitých grafitových přípravků, tepelných štítů a podpůrných součástí pro polovodičová tepelná zařízení. Továrna může spolupracovat se zákazníky na dokončení předúpravy-, jako je čištění a leštění před nátěrem. Přísné měření souřadnic a kontrola vzhledu jsou implementovány pro každou šarži produktů, aby byla zaručena rozměrová stálost. Přestože se společnost Jincheng Graphite zaměřuje především na mechanické zpracování grafitových komponent, udržuje technickou komunikaci s dodavateli povlaků, aby mohla dodávat plně kvalifikované hotové díly pro výrobce polovodičových zařízení.
Globální rozšiřování kapacity polovodičů vede k neustálému růstu poptávky po vysoce-výkonném grafitovém spotřebním materiálu. Lokalizace polovodičových zařízení přináší domácím podnikům na zpracování grafitu obrovské tržní příležitosti. Jincheng Graphite bude neustále zlepšovat schopnosti přesného obrábění a systém kontroly kvality, aby podpořil konstrukci dodavatelského řetězce grafitových dílů pro polovodičové tepelné zařízení.
